橡矽膠於半導體業界的運用與技術

在高科技晶圓與半導體代工產業中，對橡膠與矽膠零件的精度、潔淨度與穩定性要求極高，每一個微小元件都直接影響製程良率。我們深耕橡膠與矽膠製造多年，專注於為先進晶圓廠與設備商提供高可靠度的客製化部件，包括 抗靜電真空吸盤、橡膠噴嘴（Nozzle）、精密橡膠閥、阻尼/密封用橡膠軸承、O-ring、緩衝墊、導電/半導電矽膠零件 等。產品皆符合高潔淨要求，並能在高速搬運、高溫、高化學性與長時間運轉中保持穩定性能。

材料選用能力 — 專精於半導體級彈性體

我們具備選材與配方開發能力，可依據客戶設備條件提供不同彈性體方案，例如：

• 半導電・抗靜電矽膠（ES-Silicone）

• 低污染、無析出矽膠（Low Bleed-Out Silicone）

• 耐化學 NBR/EPDM（對 IPA、Acetone、NMP 等清洗液相容）

• 耐磨 PU、超耐疲勞橡膠（適用高速 Pick & Place）

• 低金屬離子、低游離矽油配方（適用 EUV、乾式製程）

材料可依需求提供 Shore A 20–90、導電/抗靜電等級、耐溫範圍、摩擦係數與壓縮永久變形特性，並可依設備狀況微調配方以降低磨耗、提升吸附穩定性或延長壽命。

製造與加工能力 — 精密、穩定、客製化

我們擅長 真空壓模、射出成形、橡膠包金屬，並具備多項半導體業常用的加工能力：

• 0.01–0.03 mm 精度級模具

• 低氣體殘留（Low Outgassing）製程

• 無毛邊／極細毛邊特別處理

• 表面紋路、阻尼設計、通氣槽、防包風結構

• 螺絲、陶瓷、鋁件等異材包覆與接著（使用 LORD、THIXON 等高端黏著系統）

可快速因應多品種少量客製，並協助客戶進行產品優化，例如提升真空吸盤吸力穩定、改善噴嘴耐磨耗、降低橡膠閥的漏氣率與壓降等。

品質控管 — 晶圓製程要求的高規格流程

我們依循半導體供應鏈品質標準，建立全流程管控系統，包括：

• 材料批次追溯、RoHS/REACH、低金屬離子檢驗

• 橡膠硫變曲線（ML/MH/TB/TC）嚴格管理

• 外觀 100% 逐顆檢查、防混料防誤包裝制度

• 壓縮率、回彈性、硬度、耐化學測試

• 潔淨包裝、單顆托盤、批次標示

我們的目標是協助客戶提升製程穩定度與良率，以高品質彈性體零件支援先進製程設備運作。